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						 编号  | 
					
						  
						 项目  | 
					
						  
						 指标参数  | 
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						 1  | 
					
						  
						 自由度数及结构  | 
					
						  
						 六自由度(偏航、俯仰、横滚、升降、侧向平移及纵向平移);采用Stewart结构  | 
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						 2  | 
					
						  
						 负载重量  | 
					
						  
						 30kg  | 
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						 3  | 
					
						  
						 最大工作频率  | 
					
						  
						 5Hz  | 
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						 4  | 
					
						  
						 步进精度  | 
					
						  
						 1μm  | 
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						 5  | 
					
						  
						 台面 行程  | 
					
						  
						 X轴  | 
					
						  
						 行程±30mm,角度±10°  | 
				
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						 6  | 
					
						  
						 Y轴  | 
					
						  
						 行程±30mm,角度±10°  | 
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						 7  | 
					
						  
						 Z轴  | 
					
						  
						 行程±25mm,角度±30°  | 
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						 8  | 
					
						  
						 外形尺寸  | 
					
						  
						 Φ320×254mm  | 
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